简介：TN305．72005032365硅基微结构制作及其在微分析芯片上的应用=Fabricationofsilicon-basedmicrostructuresandtheirapplicationinmi-crochipsE刊,中]／孙洋(清华大学深圳研究生院．广东,深圳(518057)),钱可元…∥半导体光电．-2004,25(6)．-477-479,483基于一种新的湿法刻蚀条件和新型的凸角补偿结构,以KOH溶液为腐蚀液,对单晶(100)Si材料进行了湿法刻

简介：TN30597010636大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测-等离子发射光谱法=Insitumonitoringetchprocessandend-pointforLSIbytheplasmaemis-

简介：TN30595021329相移掩模的计算机模拟方法研究[学,中]/沈锋;中科院光电技术研究所.—62页.—1994.6研究了亚微米微细光刻技术的一个热门领域—相移掩模提高分辨率.从Hopkins理论出发,导出了一般情况下的二维物体的部分相干成像的简化强度

简介：论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的研究进展及

简介：TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限

简介：摘要：在机械制造行业中，最为关键的部分是机械加工设备，其本身的性能、运转效率同稳定性间有着直接的关联，并且会对企业产品的质量和经济效益产生直接的影响。因此，需要考虑到保障性的维护，这样才能保障机械设备始终能够处于最佳状态下，从而满足实际的发展需求。

简介：微细加工技术已成为涉及机械、电子、化工、材料等多种学科的现代高新技术，受到越来越多的关注。文章主要介绍几种微细加工技术的研究现状。

简介：微细切削技术是当前先进制造技术领域中的一个重要发展方向，微细切削的目的是通过机械切削的方式实现微小结构的精密成形。在微细切削过程中，刀具的姿态调整是确保微细切削顺利实施的一个重要环节。以微细车削中的刀具姿态微调为目标，提出了以图像处理为基础的在线检测方案和以斜锲机构为基础的刀具姿态微调技术方案。

简介：摘要：随着微小型零件的需求日益迫切，微细铣削技术因其精度高、成型能力强等优势受到越来越多的关注。零件的表面质量关系到其机械性能与装配性能。因此，对微细铣削加工后零件的表面质量的研究，近年来已经成为机械制造领域中的重要课题。本文综述了微细铣削加工过程中主轴转速、进给量、轴向切深和径向切深对表面质量的影响，并将微细铣削表面质量按照表面粗糙度、残余应力、加工硬化、毛刺四个方面展开论述。

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简介：摘要：本文主要介绍了基于数控走心机的微细加工技术，包括其优点、不足及未来发展方向。该技术具有高精度、高效率、易于自动化生产等优点，但加工难度大，设备成本高等不足之处。未来，结合新型材料和前沿技术进行优化将使得微纳器件制造更加精确和可靠。

简介：摘要： 本文将采取 磁选、浮选工艺 等一系列方法 对 某地的 镒矿微细粒镒矿泥 予以想尽地 选矿回收工艺 分析 。 该地属于一座具有多年开矿经验的矿山，始终都以氧化镒作为主要的采集对象。该地的镒矿床具备“上富下贫”的主要特征，通过长期性地开采处理，现在全矿持有的氧化锭资源，不但在规模上出现了极大的改变，而且其主要的矿物质品位也在逐年降低，其整体的含粉率相当之低，原本持有的选矿技术以及设施装置已经很难契合贫氧化镒矿石的基本需求。长期以来，伴随选矿工艺技术水平地逐步提升，其设施属性也越来越优化，本文将就该地选厂进行多方面地技术优化，从而联合多项手段，科学合理地回收细粒级以上镒，总之强化对微细粒镒矿泥的回收工作力度具有很强的现实价值，值得进一步地推广及应用。

简介：电火花加工过程中，间隙内进行能量转换，间隙状态的优劣直接影响脉冲电能的转换效果，在微细电火花加工过程中这种影响更加明显。同时，这也是评判放电加工是否顺利进行的主要标准。在科研生产过程中，需要对放电状态，特别是微细电火花放电加工过程中的波形进行研究，因此，组建了一套用于采集放电波形、检测放电状态的放电监测系统。

简介：摘要：本文研究了机械加工中微细尺寸特征的检测与测量方法。随着微纳技术的发展，对微细尺寸特征的要求越来越高，传统的检测设备和测量方法已经不能满足需求。文章介绍了常用的检测设备如光学显微镜、扫描电子显微镜和原子力显微镜，并探讨了直接测量法、光学投影仪和光干涉仪等测量方法。

简介：摘 要：微波毫米波模块中，核心部件一般为尺寸及精度要求高的微细异形零件，其成型的尺寸精度及表面质量直接影响到信号传输性能。本文提出了一种微细异形零件高速铣削成型的工艺方法，改变了以往手工折弯成型方式以及微细异形零件无法成型难题，实现了微细异形零件的精密铣削成型，为此类微细异形零件的成型提供了借鉴。

简介：摘要：加工工艺是指导加工的重要技术文件，本文对CNC加工中心加工工艺不仅进行了详细的步骤讲解，同时也提出了相应的注意事项、解决措施和方法，并且总结和制定出简洁明了、通俗易懂的加工口诀。

简介：日本的产业技术综合研究所（产综研）于2008年4月1日成立了“纳米电子元件研究中心”。目的是推进半导体元件的微细化，以及开发取代CMOS晶体管微细化的、基于新原理的技术。

简介：摘要：随着我国科学技术的不断发展，人们从原来的工业化模式向数字化模式转变，其加工工艺也由原来的传统机械加工工艺转变为数控加工工艺。对刀具的优化创新使得当前的加工技术更加先进、准确和高效。文章介绍了数控加工工艺与传统机械加工工艺的内容，并将二者进行比较，分析其未来发展前景。

简介：在降低成本的因素驱动下,微型钻头钻径的结构发生明显工艺变化。PCB微细槽钻加工工艺变更前采用的等径焊接工艺,变更后采用大小平焊。变更可行评估评价指标:焊接强度、对比孔位精度、批次测试孔位精度及孔粗,极限测试断刀及脱焊、磨损情况。