简介：摘要：随着微小型零件的需求日益迫切，微细铣削技术因其精度高、成型能力强等优势受到越来越多的关注。零件的表面质量关系到其机械性能与装配性能。因此，对微细铣削加工后零件的表面质量的研究，近年来已经成为机械制造领域中的重要课题。本文综述了微细铣削加工过程中主轴转速、进给量、轴向切深和径向切深对表面质量的影响，并将微细铣削表面质量按照表面粗糙度、残余应力、加工硬化、毛刺四个方面展开论述。

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简介：TN30597010636大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测-等离子发射光谱法=Insitumonitoringetchprocessandend-pointforLSIbytheplasmaemis-

简介：TN30595021329相移掩模的计算机模拟方法研究[学,中]/沈锋;中科院光电技术研究所.—62页.—1994.6研究了亚微米微细光刻技术的一个热门领域—相移掩模提高分辨率.从Hopkins理论出发,导出了一般情况下的二维物体的部分相干成像的简化强度

简介：论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的研究进展及

简介：TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限

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简介：摘要：切削液的加工性能是指切削液在切削加工过程中所表现出来的效能，它与切削加工效果直接相关。这些效果包括加工质量、机床功率消耗、加工效率、切屑处理等几个方面。本文对切削加工过程中切削液的加工性能进行研究。

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简介：摘要：在机械制造行业中，最为关键的部分是机械加工设备，其本身的性能、运转效率同稳定性间有着直接的关联，并且会对企业产品的质量和经济效益产生直接的影响。因此，需要考虑到保障性的维护，这样才能保障机械设备始终能够处于最佳状态下，从而满足实际的发展需求。

简介：微细加工技术已成为涉及机械、电子、化工、材料等多种学科的现代高新技术，受到越来越多的关注。文章主要介绍几种微细加工技术的研究现状。

简介：本文分析了干切削加工对刀具、机床的要求，并对刀具、机床的设计要点进行了介绍。

简介：微细切削技术是当前先进制造技术领域中的一个重要发展方向，微细切削的目的是通过机械切削的方式实现微小结构的精密成形。在微细切削过程中，刀具的姿态调整是确保微细切削顺利实施的一个重要环节。以微细车削中的刀具姿态微调为目标，提出了以图像处理为基础的在线检测方案和以斜锲机构为基础的刀具姿态微调技术方案。

简介：摘要：本文从切削热的来源入手，分析了其在铣削加工中对加工精度的影响，并从切削温度及影响因素角度，深入分析了切削温度对铣削工作的影响，希望与同行一起切磋。

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简介：【摘要】：对于金属加工来说，切削加工是最为重要的内容之一，也是直接决定加工产品质量的关键因素。本文主要研究金属切削加工精度工艺方面的内容，对于影响精度的相关因素进行分析，同时提出针对性解决对策，希望能够对相关人士有所帮助。

简介：摘要：相较于其他，高温合金为一种特别难加工的材料，实施冷切削时所得到的加工性能不好。因此，本篇文章将针对近些年来关于冷切削加工高温合金实践的研究实施分析以及总结，希望能为后续高温合金的进一步加工工作提供些许参考。

简介：摘要在金属切削加工中，切削温度是一个难以回避的重要问题，而影响切削温度的因素主要是刀具参数和被加工材料等。本文主要从切削用量、刀具几何参数、刀具磨损、工件材料等几个方面进行分析和阐述，从而了解这些因素在切削加工时所产生的切削温度所带来的影响。