简介:全氟化碳是温室气体,大量排放到大气中将会严重污染环境,在薄膜晶体管液晶显示器的生产过程中需要用全氟化碳做等离子刻蚀的反应性气体和在化学气相沉积工艺中做清洗气体,为减少使用过程中全氟化碳的对外排放,国外的TFT-LCD企业作了大量的工作,特别是日本、韩国、我国的台湾地区.文章介绍了全氟化碳温室效应的计算方法、全氟化碳在TFT-LCD制造过程中的具体应用、国外为减少全氟化碳排放采取的措施,相信这些经验对处于起步阶段的我国TFT-LCD行业有很好的借鉴作用.
简介:针对齿轮故障时振动信号复杂、特征提取困难的问题,提出采用局部特征尺度分解(LocalCharacteristicscaleDecomposition,LCD)与双谱分析相结合的故障特征提取方法。首先,利用LCD分解法对振动信号进行分解,并结合贝叶斯信息准则(BayesianInformationCriterion,BIC)和峭度时间序列互相关系数2个指标对内禀尺度分量(IntrinsicScaleComponent,ISC)进行筛选;其次,利用双谱分析法对所选取的ISC分量进行融合,提取双谱熵作为特征量;最后,运用该方法实现齿轮振动信号故障特征的提取,并通过齿轮预置故障试验验证了该方法的有效性。
简介:摘要:复合层刻蚀是作为TFT-LCD制造工艺中控制难度相对较高的工序之一,复合层刻蚀之后信号线两侧有明显的金属残留是最为重要的问题之一。这些金属残留物会对整个绝缘层产生直接的影响,甚至是出现断层的情况。而对复合层刻蚀工艺进行调整是现阶段能够解决这种问题应用最为广泛的一种方式,但是这种方式并不能真正地将金属残留的问题彻底解决。本文就信号线刻蚀时间对复合层刻蚀后的金属残留的影响作出深入的分析,提出调整信号线的刻蚀时间的方式促使复合层刻蚀之后金属残留的问题得以充分解决,在合理范围内控制金属线的线宽。