简介:摘要:随着时代的发展与科技的进步,互联网各种技术的出现,让电渐渐的成为了不可或缺的“生活必需品”。同时,很多新兴产业也在渐渐成熟,而这些新的产业、新的技术也让我们看到了技术运用在我们生活中的可能性。一个国家的军备力量,在很大程度上代表了一个国家的综合实力,所以这些先进技术在军事上的运用就显得尤为重要。而在20世纪末期出现的MEMS在很大程度上,带电气行业走上了一个新的高度。
简介:摘要:微型压力传感器是利用 MEMS技术研制的一种微型压力传感器,其结构采用圆片级封装形式,以硅材料为敏感芯片,并通过 MEMS技术将其加工成不同形状的微型压力传感器。其尺寸一般小于10 mm×0.1 mm,且具有较高的灵敏度、线性度和稳定性。目前,采用 MEMS技术制备的微型压力传感器主要应用于对体积微小的流体或固体进行压力测量。本文对基于 MEMS技术的微型压力传感器进行了设计与优化,并在此基础上搭建了测试系统。研究结果表明,采用 MEMS技术制备的微型压力传感器具有较高的灵敏度、线性度和稳定性,并可以满足小尺寸、高精度测量的需求。