简介：针对低精度MEMS陀螺仪适合短时间工作的特点，在不同采样频率下测试了常用MEMS陀螺仪的短时漂移，对比研究并分析讨论了各种被测MEMS陀螺仪的短时漂移特性，发现石英系列MEMS陀螺仪的短时漂移在高频采样时表现出显著的周期性，并说明测试石英MEMS陀螺仪需要高采样频率，应用时需精确标定补偿其周期特性。

简介：

简介：摘 要 MEMS陀螺仪作为低成本惯性测量单元在载体姿态监测与导航控制中有着广泛应用。根据三轴光纤陀螺仪标定的数学模型，设计了三轴 MEMS陀螺仪标定的数学模型及标定实验；介绍了数学模型中陀螺仪标度因数、安装误差系数以及固定常值漂移的计算与处理方法。理论分析与实验结果表明：该标定方法原理简单、易于实现，且标定结果精度高，标定后的解算矩阵可为后续姿态解算和导航控制提供较为准确的量测数据。

简介：为了减小MEMS陀螺仪的正交误差，进一步提高陀螺精度，在Simulink环境中对陀螺结构和测控系统进行了建模和仿真。首先在理想状态的陀螺结构模型基础上建立了包含机械热噪声、模态间耦合等非理想因素的结构模型，并给出了陀螺结构的相关设计参数。其次在陀螺结构模型上以自激振荡和AGC控制技术为基础设计了驱动回路，该回路可在短时间内将驱动幅度稳定在10μm，且驱动频率为4048Hz（驱动模态的谐振频率）。然后分析了模态间耦合信号的作用方式并建立了正交校正和检测闭环力反馈回路，仿真结果显示，在全闭环状态下检测模态所受耦合力的幅度比未校正状态下降了5个数量级，等效输入角速度也从205（°）／s下降到了6．58（°）／h。最后对陀螺模型进行了整体测试，得到其标度因数和阈值分别为21．76mV／（°）／s和0．002（°）／s。

简介：为了对微小型飞行器上的MIMU（微惯性测量单元）的随机漂移进行补偿，在比较了Mallat算法与átrous算法之后，基于小波变换与多尺度分析方法，提出了多尺度时间序列建模方法，它充分利用了átrous算法的快速性与时间平移不变性，将MEMS陀螺仪随机漂移进行多尺度分解。对各尺度上分解得到的信号进行重建，并对重建得到的各个信号进行时间序列建模。将各尺度时间序列模型的预测输出的和作为陀螺仪的随机噪声估计，对陀螺仪的随机漂移进行补偿。最后的实际数据建模表明该建模方法运算量小、建模速度快、精度高、模型适用性强，有很强的实际应用价值。

简介：摘要：基于MEMS陀螺仪的姿态测量系统在众多领域，如航空航天、汽车、消费电子等，发挥着至关重要的作用。而随着技术的进步，MEMS（微电子机械系统）陀螺仪因其体积小、成本低和功耗低等优势，成为了姿态测量的首选技术。因此，本研究旨在深入探讨MEMS陀螺仪在姿态测量系统中的应用现状，包括其硬件和软件的开发与优化。硬件开发重点关注MEMS陀螺仪的设计、集成和性能调优，而软件开发则着重于数据处理算法和用户界面的设计，旨在提高系统的精确性、稳定性和用户体验。

简介：摘要：随着惯性导航技术在各领域的广泛应用，基于MEMS陀螺仪的姿态监测在航空航天、机器人等领域得到了广泛关注，本文设计并实现了一种基于MEMS陀螺仪的报警装置，采用MPU6050六轴运动传感器进行姿态检测，通过Arduino开发平台实现数据采集、滤波、融合计算等功能，该装置可以实时监测目标物体的姿态变化并根据预设阈值发出报警信号，可以应用于安全监测、姿态控制等领域，实验结果表明该装置具有良好的实时性和可靠性。

简介：<正>00585UltraBroadbandMEMSSwitchonSiliconandGaAsSubstrates/R.Chan,R.Lesnick,D.Caruthetal(UniversityofIllinois,USA)//GaAsMANTECHConference.2003.—25报导了高可靠dc～110GHz低压毫米波GaAs与Si衬底MEMS开关的性能。当频率高至110GHz,该开关插损小于6dB,隔离度大于15dB,开关寿命大于6.9×10~9循环。文章还介绍了实现超宽带性能及高可靠性所采用的设计方法和制造方法。

简介：近年来，依托自主知识产权的MEMS陀螺仪核心技术，深迪半导体的陀螺仪芯片在全球航模市场的份额一直名列前茅，占据着显著的市占率。本次与世界著名玩具品牌厂商合作，推出的《星球大战》全新智能玩具系列产品，采用了深迪SZ030H单轴陀螺仪芯片，是深迪半导体拓展新应用的成功尝试。深迪半导体董事长邹波表示：“作为业界领先的MEMS陀螺仪芯片厂商，

简介：密集布设的MEMS强震仪台网获取的准实时强震观测数据，可以为震后灾情快速判断和平时地震学基础研究提供科学依据。本文阐述了利用3G／4G无线通信和L2TP（LayerTwoTunnelingProtocol，第二层通道协议）VPN（VirtualPrivateNetwork，虚拟专用网络）技术，基于互联网组建MEMS（MicroElectromechanicalSystem，微机电系统）强震仪监测网络的主要步骤和实现过程，实现了MEMS数据的实时传输。提供了一种简单的组网模式，为建立灵活、实用、覆盖面广，并具有一定安全性的密集监测网络提供参考。

简介：为了提高使用精度，研究了某型号MEMS陀螺仪的随机漂移模型。采用游程检验法分析了该陀螺仪随机漂移数据的平稳性，并根据该漂移为均值非平稳、方差平稳的随机过程的结论，采用梯度径向基（RBF）神经网络对漂移数据进行了建模。实验结果表明：相比经典RBF网络模型而言，这种方法建立的模型能更好地描则EMs陀螺仪的漂移特；相对于季节时间序列模型而言，其补偿效果提高了大约15％。

简介：2017年12月,玉米市场在补贴传闻之下深加工＂抢粮＂收购加剧市场恐慌性、下游饲料企业也陆续提前备货,叠加华北局部粮质受损,造成产区售粮进度偏快价格持续走高。预计2018年玉米价格持续震荡上行。

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简介：AreviewontheresearchofMicroElectromechanicalSystems(MEMS)technologybasedbiomimeticciliaispresented.Biomimeticcilia,enabledbytheadvancementofMEMStechnology,havebeenunderdynamicdevelopmentforthepastdecade.AfterabriefdescriptionofthebackgroundofciliaandMEMStechnology,differentbiomimeticciliaapplicationsarereviewed.Biomimeticciliamicro-actuators,includingmicromachinedpolyimidebimorphbiomimeticciliamicro-actuator,electro-staticallyactuatedpolymerbiomimeticciliamicro-actuator,andmagneticallyactuatednanorodarraybiomimeticciliamicro-actuator,arepresented.Subsequentlymicromachinedunderwaterflowbiomimeticciliamicro-sensorisstudied,followedbyacousticflowmicro-sensor.ThefabricationoftheseMEMS-basedbiomimeticciliadevices,characterizationoftheirphysicalproperties,andtheresultsoftheirapplicationexperimentsarediscussed.

简介：MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微型器件或系统。MOEMS则是Micro—Opto—Electro-MechanicalSystem的缩写。把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感器等多个方面。

简介：MicroandNanotechnologyareengineeringonanextremelysmallscale.Alreadytheyarebeingappliedtocreatemanynewproducts.Nanotechnologyispredictedtobecomethebasisforremarkablypowerfulandinexpensivecomputers,fundamentallynewmedicaltechnologiesthatcouldsavemillionsoflives,sensorsimportantinmilitaryapplicationaswellasenvironmentalprotection.Themainaimofthisreviewistoconcentrateinformationfromdifferentprintedandonlinesourcesandhelptomakearightdecisioninverydynamicsensormarketaswellasletknowwhatweshouldexpectinthenearestfuture.

简介：新西兰南岛最大城市克赖斯特彻奇附近发生里氏7．0级地震．给当地供水供电等各项基础设施带来了“触目惊心的破坏”．看罢报道．我猜想．假如在一些地方发生如此强震．那肯定会出现不少感人的英雄。然而．新西兰在强震之后却没有出现英雄：

简介：<正>MEMS智能化时代的核心交互器件。MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。在智能化"感知"时代,MEMS以其体积小、功耗低、灵敏度高等优点,成为智

简介：PolysiliconMicroelectromechanicalsystems(MEMS)arethesubjectofintensiveresearches.SurfacechemistryandtopographyofaMEMSteststructurefabricatedatSandiaNationalLaboratory,USA,werestudiedbymeansofscanningelectronmicroscopy(SEM),X-rayphotoelectronspectroscopy(XPS)andatomicforcemicroscopy(AFM).XPSC()andSi2,spectrafromthepolysilieoncomponents,siliconnitridesubstrateandareferencesiliconwaferwerecompared.Theresultsconfirmthepresenceofaself-assembledmonolayer(SAM)ontheMEMSsurface.Anisland-likemorphologywasfoundonbothpolysiliconandsiliconnitridesurfacesoftheMEMS.Theislandstaketheformofcaps,beingupto0.5μmindiameterand20nminheight.Itisconcludedthattheco-existenceofcolumnargrowthandequiaxedgrowthduringthelowpressurechemicalvapordeposition(LPCVD)oftheselayersleadstotheobservedmorphologyandtheislandsarecapstothecolumnarstructures.