简介:摘要:微机电系统作为基于集成电路基础发展而成的工程技术,在当今许多领域有着重要表现。本文简述了MEMS的发展历程、主要特征和相关器件应用,总结了MEMS器件制造过程中运用的关键技术及问题,论述了湿法腐蚀、干法刻蚀和加体硅加工工艺及表面微加工的相关内容,并对MEMS的发展前景进行了基于个人的预测。
简介:摘要:微机电系统作为一种完整机电系统结构的新型系统,该系统内部结构的器件均为微米或纳米级别,微机电系统侧重于超精密仪器加工。与传统的机电系统相类似,微机电系统由传感器、执行器、信号处理器以及控制电路电路组成,但其内部结构均为微型化部件,具备易集成、可批量生产、功耗低、价格低廉等优点,从而可以完成大尺寸机电系统无法完成的任务,微机电系统是目前交叉学课的重要研究领域,包括材料工程、机械工程、信息工程、医疗领域等,微机电系统已经逐步被应用于各个领域,展示出了巨大的市场潜力。健康问题是国家卫生安全问题的重要组成部分,将微机电系统应用于医疗领域有着光明的前景,因此,笔者就微机电系统在医疗领域中的应用展开论述。