简介:摘要:在生产多晶硅的过程中,还原工艺具有较大能耗,还原工艺主要是利用还原炉,还原炉内部硅棒表面高温需要消耗较多的电能。多晶硅还原炉沉积生产阶段比较复杂,能耗时刻都在发生变化,因此在实际生产阶段很难预测下一刻的能耗,增加了生产控制难度。因此本文分析了多晶硅还原炉还原过程的能耗,并且预测下一时段的能耗,提高还原沉积过程能耗控制性,保障工艺人员可以高效的控制还原炉操作。可以对比预测内容和实际,及时发现多晶硅还原炉异常问题,保障多晶硅生产的持续性,避免浪费大量的能源。本文分析了多晶硅还原炉还原过程的能耗,同时开展预测解析,促进多晶硅企业生产发展。
简介:摘要:现阶段,多晶硅的生产主要采用的是改良西门子法,还原炉是它的重要设备。本文针对现有技术中存在的不足,简述一种多晶硅还原炉高压及调功接地检测系统,用以解决多晶硅还原炉硅芯击穿打火,电压高的问题,本文将对它的系统研制的几方面及其实际应用作出简要的分析,这有助于我国对目前还并不完善的多晶硅还原炉电气系统更加重视。