全球首款场选择60W-90W沉浸式光源被亚洲大型芯片商采用

(整期优先)网络出版时间:2009-08-18
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Cymer宣布全球首款场选择60W-90W沉浸式光源——XLR600ix已集成至Nikon扫描光刻机,并成功在一家大型亚洲芯片商中投入使用。该里程碑标致着此类光源得到了主流芯片商的采用,并表明芯片商对于CymerXLR平台的认可。