微机械加速度计及电容检测电路的设计

(整期优先)网络出版时间:1999-01-11
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本文讨论一种扭摆式微机械加速度计。介绍其敏感元件的结构,振动模态和数学模型,说明了集成电容检测电路的原理,并对该电路进行了具体设计,利用PSPICE软件进行仿真分析,结果证明完全达到要求,并给出了同步解调器电路的形式,为进行版图设计打下了基础