微机电系统集成设计方法与实现技术分析

在线阅读 下载PDF 导出详情
摘要 摘要:随着科技的不断发展,微机电系统(MEMS)逐渐成为了一种重要的技术。MEMS是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米尺度内。本文将分析微机电系统集成设计的方法与实现技术,并探讨其未来的发展趋势。
出处 《中国科技人才》 2024年4期
出版日期 2024年05月15日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
  • 相关文献