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半导体工艺与制造装备技术发展趋势探索

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摘要摘要：近年来，随着计算机和手机的发展，半导体工艺也得到了飞速的发展，相继开创了互联网和移动互联网的新时期。目前，云计算、大数据、人工智能、5 G、物联网等成为新的发展焦点，推动着整个社会的信息化建设进入了一个新的阶段。为了掌握半导体工艺与制造装备技术发展现状，本文首先从支持我国电子信息技术发展的角度出发，对半导体工艺技术的发展趋势进行剖析，并对其中的关键问题进行了阐述。

DOI wjv512zl6d/8199850

作者谢艳

机构地区中环领先半导体科技股份有限公司，天津300384

出处《中国科技信息》 2024年4期

关键词半导体工艺制造装备发展趋势

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年04月23日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）