摘要
摘要：半导体是在室温下电导率介于导体和绝缘体之间的材料。半导体广泛用于无线电、电视和测温。无论从技术还是经济发展的角度来看，半导体的重要性都很大当今大多数电子产品，例如计算机、手机或数字录音机，都与半导体有着密切的联系。随着科学技术的发展，半导体制造工艺变得越来越复杂，生产成本也越来越高，全球半导体企业的一体化已经成为一个主要趋势，少数企业的垄断地位今后将进一步恶化。在半导体制造方面，中国仍然远远落后于技术，缺乏竞争力，生产技术水平有限。因此，中国半导体制造企业必须加强产品质量控制，努力提高产品质量，转向更好的结构。半导体制造企业的质量控制目标是全面提高产品质量。利用有效的质量控制手段，利用专门知识提高质量。基于此，本篇文章对半导体工艺与制造装备技术发展趋势进行研究，以供参考。
出版日期
2022年10月25日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
