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超声振动辅助抛光碳化硅试验

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摘要摘要：为改善化学机械抛光加工碳化硅试件过程中存在的表面质量差等问题，将超声振动辅助化学机械抛光加工碳化硅与化学机械抛光进行对比，研究超声振动辅助抛光的效果。

DOI wjvg1l0nj7/6979026

作者唐爱玲，苑泽伟，唐美玲，王颖

机构地区（沈阳工业大学机械工程学院，辽宁沈阳 110870）

出处《职工天地》 2023年1期

关键词

分类 [政治法律][政治学]

出版日期 2023年04月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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