IBM揭示最新半导体制程技术进展

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摘要 <正>在日前举行的"通用平台技术论坛"(CommonPlatformTechnologyForum)上,IBM公司与其技术联盟伙伴三星电子(SamsungElectronics)和GlobalFoundries共同探讨超越FinFET技术的半导体发展前景,看好可挠曲晶圆、CMOS持续微缩、双重曝光微影以及碳纳米管和硅光等下一代技术的最
作者 赵佶
机构地区 不详
出处 《半导体信息》 2013年2期
出版日期 2013年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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