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华润上华第三代超高压700V BCD系列工艺开发成功

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摘要华润微电子有限公司旗下的华润上华科技有限公司（华润上华）近日宣布其第三代超高压700VBCD系列工艺开放代工平台开发成功。该工艺平台自华润上华第二代硅基700VBCD工艺基础上自主开发而来。通过工艺技术的持续改进，该工艺不仅控制电路部分的设计规则比第二代硅基700VBCD工艺缩小15％，

DOI 7dmw77wl4n/1240206

作者

机构地区不详

出处《中国集成电路》 2013年6期

关键词工艺开发 CD系列超高压第三代 BCD工艺平台开发

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2013年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国集成电路

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工艺开发 CD系列超高压第三代 BCD工艺平台开发

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