简介：摘要：在生产多晶硅的过程中，还原工艺具有较大能耗，还原工艺主要是利用还原炉，还原炉内部硅棒表面高温需要消耗较多的电能。多晶硅还原炉沉积生产阶段比较复杂，能耗时刻都在发生变化，因此在实际生产阶段很难预测下一刻的能耗，增加了生产控制难度。因此本文分析了多晶硅还原炉还原过程的能耗，并且预测下一时段的能耗，提高还原沉积过程能耗控制性，保障工艺人员可以高效的控制还原炉操作。可以对比预测内容和实际，及时发现多晶硅还原炉异常问题，保障多晶硅生产的持续性，避免浪费大量的能源。本文分析了多晶硅还原炉还原过程的能耗，同时开展预测解析，促进多晶硅企业生产发展。
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