简介:提出了一种亚微米深度的纯位相型玻璃衍射光栅制作工艺,采用光刻制栅方法对要制作的光栅结构进行了分析;用AUTOCAD绘图软件绘制光栅的排列布局以及MATLAB软件对设计出的图案进行衍射图样模拟,在基于数字微镜的光刻机上进行曝光,由涂覆光刻胶的铬玻璃上得到缩微图案;观察了单色激光的夫琅禾费光栅衍射图样,以确定最终的设计图案;用电子束刻蚀方法得到的铬掩膜板进行常规光刻工艺处理,得到纯位相型的衍射光栅,最后通过对衍射光栅的衍射图案的失效性分析确定最佳的光刻工艺。结果表明:利用光刻制栅方法不仅可以在玻璃上制得纯位相型光栅,同样也可以在硅片、金属等其他基底上制得光栅或其他光学重复单元,方法可行,且材料成本不高。
简介:04372003010350环形斑激光束在非线性克尔介质中环半径的偏移现象=RadiusdeviatingofcirclespotlaserbeaminKerr-medium[刊,中]/苗润才(陕西师范大学物理学与信息技术学院,陕西.西安(710062)),叶青…//光子学报.-2002,31(7).-882-886对于非线性克尔介质中的环形斑调制光束,通过数值求值非线性Schr(o|¨)inger方程发现:当入射光强度超过一定值时,光束在传输过程中将发生环半径偏移现象。并对环半径偏移产生的条件、偏移的特点,以及自聚焦焦点上光强度的横向分布与环半径偏移之间的关系进行了详细的研究。图4参12(李瑞琴)
简介:针对透射光栅的减反射技术、ICF系统使用的多用途光栅的性质以及部分相干光在光栅中传输的特性等方面进行了详细的分析和模拟计算,较为系统的研究了用于ICF的光栅特性。针对透射光栅的表面反射不利因素,将光栅的工作角度设置到布儒斯特角附近,利用光束成布儒斯特角入射具有的特殊性质可以达到减反射的目的。计算结果显示,对长周期的透射光栅,将其设置到布儒斯特角附近工作能降低光栅的反射率,特别是总反射率可以明显降低。ICF系统中的色分离光栅可以考虑试用这种方案减反射;对周期在波长附近的短周期光栅也能实现减反射,并能保证更高的一级衍射效率,但布儒斯特角的设置使得TM入射波的一级衍射效率的极值出现在光栅刻槽深度为102的地方,相对TE波,其深度周期被大大推迟,在实际应用中应综合考虑。