简介:提出了一种亚微米深度的纯位相型玻璃衍射光栅制作工艺,采用光刻制栅方法对要制作的光栅结构进行了分析;用AUTOCAD绘图软件绘制光栅的排列布局以及MATLAB软件对设计出的图案进行衍射图样模拟,在基于数字微镜的光刻机上进行曝光,由涂覆光刻胶的铬玻璃上得到缩微图案;观察了单色激光的夫琅禾费光栅衍射图样,以确定最终的设计图案;用电子束刻蚀方法得到的铬掩膜板进行常规光刻工艺处理,得到纯位相型的衍射光栅,最后通过对衍射光栅的衍射图案的失效性分析确定最佳的光刻工艺。结果表明:利用光刻制栅方法不仅可以在玻璃上制得纯位相型光栅,同样也可以在硅片、金属等其他基底上制得光栅或其他光学重复单元,方法可行,且材料成本不高。
简介:台湾富乔工业股份有限公司获投审会核准通过,将在广东东莞首期投入1500万美元(折合新台币4.5亿元),建一座电子级玻璃纤维布厂,预计2012年第四季度可投入生产。富乔现拥有二座电子纱厂与一座电子布厂,均位于台湾,而这次决定将生产基地延伸到中国大陆地区,主要就是因应客户需求以及就近服务客户,同时也为积极布局高阶电子薄布市场的重要策略,因此,未来东莞厂即定位专注生产超薄电子布(厚度为0.025mm以下)与特殊布种。目前富乔拥有75000吨的电子纱年产能,位于PPG玻璃纤维公司(年产能200000吨)和台湾玻璃工业公司(年产能80000吨)之后,居全球第三位。在美国和欧洲的电子纱市场各占30%份额。