简介:激光箔条云对激光有很高的散射率,光电对抗中越来越多地采用激光箔条云作为激光无源假目标实施无源干扰,或作为激光漫反射体与激光有源干扰设备配合使用,实施激光角度欺骗干扰。基于箔条云对激光的散射原理,分析了两种干扰方式的原理,设计了激光箔条云对激光导引头的有源角度欺骗干扰实验方法,给出了所需测试设备及布站要求。结果表明,干扰效果理想。该干扰方法具有灵活、机动、快速等特点,可作为一种激光有源角度欺骗干扰的新手段。
简介:光刻空间像仿真作为各种计算光刻技术的基础,受到越来越多的重视。提出一种基于互强度傅里叶分析的光刻机投影成像快速模拟方法,从光刻成像互强度传播过程入手,基于傅里叶光学原理对成像要素进行多次空域-频域变换,得到一种快捷的空间像模拟途径。通过与标准解析空间像对比,发现该方法的计算精度可达10-4(最大光强归一化)。该方法避免了部分相干成像的Hopkins方程中繁琐的积分运算,操作性强、计算精度高。该方法适用于各种灵活多变的曝光成像条件,具备广阔的工程应用前景。
激光箔条云对激光导引头的干扰效果研究
基于互强度傅里叶分析的光刻机成像模拟方法