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  • 简介:扫描光刻技术是目前实现大口径压缩光栅等位相元件制作的一种有效方案,该技术考虑到大尺寸加工的困难,采用先小尺寸加工,然后连续扫描扩大加工区域的方法,既能保证大尺寸加工和较高精度,又能降低设备制作成本和难度,具有明显的优越性。扫描光刻技术中需要发展超精密检测和超精密定位装置以保证移动光刻过程能够得到精密的控制,特别是10^-6级的相对精度的控制。图1显示了XY超精密平台的测量定位系统。

  • 标签: 光刻技术 连续扫描 加工区域 制作成本 定位装置 精密检测
  • 简介:物理学的研究方法有许多种,如控制变量法、等效替代法、转化法、推理法、模型法、比较法、类比法、图像法等,它们都是初中物理学习中常用的研究方法.我们来总结一下在“声现象”这一章中运用的研究方法.

  • 标签: 扫描 物理学习 控制变量法 等效替代法 转化法 推理法
  • 简介:开展了扫描控制工艺研究,找到了扫描稳定性控制工艺的基本要素,从膜料预熔、挡板打开前的预扫描、挡板打开后的扫描几个方面进行优化,改进了扫描工艺,有效提高了镀膜蒸发的稳定性。

  • 标签: 扫描 控制技术 电子枪 控制工艺 稳定性 挡板
  • 简介:针对国内质子加速能量不够高,不足以开展面密度为200g·cm~(-2)的厚物体透射成像实验研究的问题,探索了国内质子加速器用于高面密度厚物体内部材料边界位置测量的新方法。该方法与美国和俄罗斯发展的高能质子整幅照相不同,采用细束质子扫描方式记录透射束斑的能量、个数、偏转角度及束斑形状等信息,进而反演检测对象内部材料的边界位置。采用Geant4软件模拟了扫描检测过程,由透射率曲线和对称性特征量曲线提取的边界测量值与真实值的偏差为百微米量级。模拟计算结果表明,该方法具有可行性。

  • 标签: 高能质子 扫描方法 多层同心球 边界测量
  • 简介:药柱传统的手动A型扫描探伤方法存在,检测过程的稳定性以及检测结果的准确性、可靠性较低,检测结果不够直观等不足之处。为了解决这些问题,对超声C-扫描成像检测技术的系统条件、技术参数、缺陷大小的系统标定等开展了研究,确定了炸药柱水浸式超声C-扫描成像检测条件,并对利用手动A型超探仪探伤有缺陷(包括分层类和疏松)的PBX-9003和TNT药柱进行了C-扫描成像检测。

  • 标签: 扫描成像 检测结果 炸药柱 超声 探伤方法 系统标定
  • 简介:鉴于高能质子加速器使用受限,且γ射线与物质作用的衰减规律同质子与物质作用的衰减规律具有相似性,采用^60Coγ射线源开展了质子扫描检测方法的原理性实验验证研究。以聚乙烯和钨组成的同心圆环结构为检测对象,采用最小步长为2.5μm的电控平移台控制被测物体的移动,用直径为8mm的铅准直孔获取γ射线细束,并用闪烁体及CCD相机组成透射束斑测量系统,获取透射图像。实验验证及蒙特卡罗模拟得到的边界测量结果与真值之间的偏差均小于1.2mm,初步验证了扫描检测方法的可行性和有效性。

  • 标签: 辐射成像 扫描检测 边界测量 原理性实验
  • 简介:基于斯特林制冷式4×288元光伏型碲镉汞二维探测,根据红外扫描成像系统原理,设计了一个扫描型长波红外连续变焦光学系统。根据系统指标要求对光学指标进行分解计算及光学优化设计得到系统的光学参数和外形结构图,并对扫描光学系统的冷反射进行分析优化。该光学系统采用三次成像的结构,由变焦望远镜组、扫描摆镜、中继镜组、成像镜组4部分组成,包含9片透镜和2片反射镜。为了降低校正色差成本,系统使用了硫系玻璃镜片。光学仿真结果表明:系统在耐奎斯特频率处的全视场光学传递函数大于0.35,全视场畸变小于2%。最后,对系统进行了成像实验验证,结果表明:该系统可以实现30.8-154mm范围内连续变焦,变焦过程中目标景物清晰,细节分辨率高,无冷反射现象出现,该系统具有分辨率高、热灵敏度高、像质清晰等特点。

  • 标签: 红外扫描系统 连续变焦 冷反射 三次成像
  • 简介:扫描隧道显微镜的发展史梁作舟,白也武(石油管道学院河北廊坊)观察、测量和分析尺度小于可见光波长的物体是当今科学技术研究中的一个热门,生物学家研究单个细胞分子或DNA,材料科学家确定物质的原子结构、微电子学工程技术人员绘制仅相当于几十个原子层厚度的电路...

  • 标签: 扫描隧道显微镜 横向分辨率 场发射体 隧道电流 真空隧道效应 陶瓷元件
  • 简介:扫描成像系统为线性不变系统的条件和光电成像系统动像光学传递函数的数学物理模型的基础上,给出了理想的动像光学传递函数的积分公式,分析了扫描成像系统的匀速动像传递特性。

  • 标签: 扫描成像系统 动像 点扩散函数 传递函数
  • 简介:TN36696031906测量大气中SO2浓度的光学传感及国产化=OpticalsensorsformeasuringairSO2concentrationanditsnationalization[刊,中]/孙金陵(郑州市环境保护监测中心.河南,郑州(450007))//仪器仪表与分析监测.-1995,(2).-21-24介绍了国外SO2监测仪中的光学传感的原理、结构和性能指标及国产化研究。该传感的国产化对发展我国的环境大气自动连续监测有着重要意义。参1(方舟)

  • 标签: 传感器技术 光学传感器 国产化研究 环境保护 自动连续监测 仪器仪表
  • 简介:基于功率MOSFET器件研制了一种能产生高压高速脉冲的发生装置.设计了由超高速运算放大器构成的宽频带放大器和MOSFET互补推挽驱动电路,分析了功率MOSFET器件的开关特性,并讨论了影响其工作速度及工作频率的因素.脉冲发生输出脉冲幅值最高可达-500V,前后沿时间均小于5ns.脉冲宽度和频率根据输入触发信号进行调节,触发延迟小于30ns,触发抖动小于500ps.

  • 标签: 脉冲发生器 高压脉冲 MOSFET 栅驱动
  • 简介:在高功率自由电子激光初级实验装置(CFEL)研究中,驱动激光直接照射光阴极而发射电子,其性能将在很大程度上决定注入乃至整个自由电子激光实验系统的性能:如电子束微脉冲宽度、电子束微脉冲流强、电子束微脉冲峰值抖动等。文中针对CFEL初期研究目标(3~8μm)对光阴极注入的要求,对光阴极RF腔注入的驱动激光进行了方案设计,提出了驱动激光的参数要求。根据方案进行了工程实施,购置了锁模激光和时间同步,放大与倍频系统正在研制当中。

  • 标签: 光阴极注入器 驱动激光器 实验装置 光阴极RF腔注入器 自由电子激光 实验系统
  • 简介:设计了一利用圆盘放大和普通长度测量工具相结合的测量微小长度的工具,分别利用该设计装置和螺旋测微对钢丝的直径和普通A4纸张的厚度进行了测量。结果显示了新设计的可行性、创新性和数据的高精度性、准确性。

  • 标签: 微小长度测量 圆盘 实验 游标卡尺 螺旋测微器
  • 简介:作用时间是衡量点火药点火性能的重要参数之一,通过对影响作用时间的主要因素(Zr粉粒度、活性)进行试验研究,为完善火工品点火药的制造工艺及点火药配方设计提供一定的理论依据。

  • 标签: 点火药 时间 粒度 活度 ZR 点火性能
  • 简介:TN248.52003010215光泵腔式远红外激光的工作参数研究=StudyofoperatingparameterofanopticallypumpedcavityNH3far-infraredlaser[刊,中]/冉勇(荆州师范学院物理系.湖北,荆州(434104)),秦家银…//激光与红外.-2002,32(4).-245-247在研究光泵腔式NH3分子远红外激光频谱特性的基础上,应用量子系统的密度矩阵理论,采用迭代法和增益迭加原理计算了以TEACO2-10R(8)泵浦的NH3分子腔式远红外激光的最佳工作参数。提供了光泵腔式NH3分子远红外激光(腔式NH3-OPFIRL)的工作参数之间的关系曲线。图4参8(杨妹清)

  • 标签: 远红外激光器 化学激光器 腔式 密度矩阵理论 增益迭加原理 参数研究
  • 简介:为提高符合效率外推法测量^133Xe度的准确度,提出一种基于Geant4软件包的蒙特卡罗理论模拟方法,通过理论预测^133Xe度测量的效率外推曲线和度,确定了最佳的测量条件和数据拟合函数.使用4πβ(PS)-4πγ(NaI)符合测量系统,绝对测量了^133Xe度,并与利用HPGeγ谱仪的测量结果进行了比较,验证了MC模拟方法预测的可靠性.

  • 标签: 符合效率外推法 ^133Xe GEANT4 蒙特卡罗方法 4πβ(PS)-4πγ(NaI) 高纯锗
  • 简介:TP212.142003032080基于CMOS图像传感的成像系统设计=ImagingsystemdesignbasedonCMOSimagesensors[刊,中]/宋勇(北京理工大学信息工程学院.北京(100081)),郝群…∥光学技术.—2002,28(3).—253-254,256以OV5116CMOS图像传感为例,讨论了基于CMOS图像传感的成像系统的电路设计方法及系统设计中应注意的问题;通过对CMOS图像传感外围电路的优化设计,实现了成像系统的微型化和轻量化。图2表1参5(方舟)

  • 标签: 图像传感器 集成传感器 成像系统设计 设计方法 优化设计 光学技术
  • 简介:TP2122004032130光波导三向力触觉传感技术中的二维与三维有限元模型分析=AnalysisofplanarandtriaxialFEAmodelinopticalwave-guidedthree-axistactilesensingtechnology[刊.中]/潘英俊(重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室.重庆(400044)),刘嘉敏∥电子测量与仪器学报.—2003,17

  • 标签: 传感器系统 传感技术 金刚石膜 三向力 三维有限元模型分析 光波导