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Laser CVD Process for the Preparation of Ultrafine SiC Powder

简介：TheCW-CO2laserdrivengasreactionwasappliedtopreparenano-sizedSiCpowder,SiH4andC2H4ofhighpurties,asstartingmaterials,weremixedtacertainrationandintroducedintotheresactioncell.Thegasesflewacrossthelaserbeamorthogonallyandthuswereheatedbylaserbeam.Thenano-sizedSiCultrafinepowderwswereformedthroughthermicgasreation.Thefinalproductivityofthisprocesswas97%,Theobtainedpowderswerecharacterizedandanalyzed.ChemicalanalysisrevealedthattheSiCcontentwas95.38wt%,Oxygen,theprimaryimpurity,weighted1.32%whiletraceimpurities,suchascalcium,magnesiumandothermetals,wereonly0.03%,XRD,XPSandTEMindicatedthatthpowderparticleswerenearlysphericalandnotagglomerated.Theparticlesizerangedfrom10nmto25nmwithanaverageof15nm,Theparticlestredtobenoncrystalline.
标签：制备超细粉末非晶体耐火材料碳化硅

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