简介：摘要：本文介绍了多晶硅的生产工艺改良西门子法——三氯氢硅氢还原法，重点对多晶硅生产中提纯工序回收系统工艺进行介绍。 精馏系统 B、 P杂质富集，不能有效去除，从而 对回收系统进行技改，利用技改减少系统 B、 P杂质含量，使 多晶硅产量、质量得以提升。
提纯工序回收系统的改造
