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The Growth of Carbon Nanotube with Chemical Vapor Deposition under Different Process Parameters

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摘要活跃的催化的种是否在在CNT或另外的nanowire生长期间的液体，稳固的阶段，表面premelting或表面过程，是争论的。以便为催化地成年的碳nanotube(CNT)探索机制，为在不同温度下面种的CNT的机制尝试性地被建议。与乙醇化学药品蒸汽免职(CVD)，碳n.anotubes(CNT)作为催化剂用钴(公司)在Si底层上controllably被综合。CNT生长上的公司粒子尺寸，生长温度和乙醇压力的效果被调查。在生长温度的不同范围的公司粒子尺寸上的CNT生长的不同依赖被发现。

DOI 54k1qz9ldk/972581

作者 ZHAO Yanli;HE Suxiang

机构地区不详

出处《武汉理工大学学报：材料科学英文版》 2011年2期

关键词化学气相沉积碳纳米管催化生长工艺参数表面处理生长温度

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2011年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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