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碳化硅单晶材料残余应力检测技术研究

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摘要摘要：碳化硅单晶材料具有优异的物理和化学性质，成为了众多高科技领域的重要材料。同时，在碳化硅单晶材料生产和应用过程中，残余应力的存在极大地影响了材料的性能和寿命。在碳化硅单晶材料的制备和应用过程中，残余应力的检测和分析是一个重要的环节。本文对于多种残余应力检测技术进行了介绍和比较，旨在为碳化硅单晶材料的生产和应用提供参考，促进相关技术的研究和发展。

DOI pd5oev0m47/7365123

作者张培

机构地区南京晶升装备股份有限公司

出处《中国科技信息》 2023年5期

关键词残余应力检测技术碳化硅单晶材料

分类 [][]

出版日期 2023年07月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）