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多晶硅还原生产常见问题及控制对策分析

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摘要摘要：在多晶硅生产中，还原工序是非常关键的一个环节，其工艺控制水平和产品质量都会对最终的多晶硅产品产生很大影响。在生产过程中，由于还原炉的高温、高负荷、高压、高密度、长时间的运行，导致还原炉温度、压力、流量等参数剧烈波动，很容易引起还原炉出现热冲击、热断裂等问题，从而使还原炉经常发生故障。这些故障如果处理不好，会直接影响到多晶硅产品的质量和产量，甚至会引起安全事故。本文通过分析多晶硅还原生产常见问题和解决对策，发表几点看法，以供相关单位参考。

DOI zdl60z0mdl/7221188

作者孟飞

机构地区新特能源股份有限公司新疆乌鲁木齐 830000

出处《中国科技信息》 2023年4期

关键词多晶硅还原生产常问题控制对策

分类 [][]

出版日期 2023年06月08日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）