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高气密性碱金属微气室低温阳极键合技术研究

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摘要摘要：低温阳极键合技术作为高气密性碱金属微气室制备重要技术，也是决定碱金属微气室制备效率和效果关键因素，但受基片表面状态、键合温度与键合电压等因素影响，高气密性碱金属微气室低温阳极键合技术作用发挥不稳定。因此，本文基于上述分析，对高气密性碱金属微气室低温阳极键合技术进行思考研究，以此确保高气密性碱金属微气室制备质量和效果。

DOI lj1g2571jv/6806020

作者张正吴长江冒薇王晓蓉董国庆

机构地区苏州经贸职业技术学院，江苏苏州市，215009

出处《科技新时代》 2022年19期

关键词高气密性碱金属微气室低温阳极键合技术

分类 [][]

出版日期 2023年02月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）