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锗化学机械抛光工艺中绿色环保氧化剂的研究

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摘要摘要：修理和维护公司机械设备时，可能会遇到许多不同的问题，并受到外部或内部因素的干扰。这些问题对公司的影响很大因此，必须及时采取适当措施，处理维修和保养问题，并为企业机械设备的正常运转提供更有力的技术支持。基于此，本文章对锗化学机械抛光工艺中绿色环保氧化剂的研究进行探讨，以供相关从业人员参考。

DOI 54y3v1m9d0/6686404

作者曹本贞

机构地区 43030419751114027X

出处《家园·建筑与设计》 2022年12期

关键词锗化学机械抛光工艺绿色环保氧化剂

分类 [][]

出版日期 2022年12月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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