一种新型紧凑型高速光电二极管芯片

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摘要 摘要:半导体光电子器件正呈现高速率、集成化的趋势,本文提出一种新型紧凑型高速光电二极管芯片,传输速率可达到10G/s,相对传统芯片结构,尺寸缩小近1/3,不仅可减小占用器件封装的空间尺寸,利于光器件的封装集成化和便利性,而且使得同一尺寸的外延片,产出更多数量的芯片,从而大大提高芯片的良率和大幅度降低芯片的成本。
出处 《科学与技术》 2022年15期
出版日期 2022年11月16日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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