摘要
摘要：显微镜是人类研究客观世界的眼睛，其中，透射电子显微镜（ transmission electron microscopy，简称 TEM）是应用最广泛的、具有纳米级别表征能力的显微镜，常用于生物、半导体、材料学领域。 TEM技术发展涉及电子腔、电磁透镜、 HRTEM、 STEM等方面，近些年来球差矫正技术的发展使得 TEM的分辨率提升了一个数量级。而本文针对 TEM样品杆专利技术的发展进行了梳理，是因为样品杆是 TEM观测中用于承载样品，实现特殊观测需求（如原位观测，力学、热学、电学测试）的重要部件，价格昂贵，有的原位样品杆的价格甚至占到 TEM整体价格的一半，并且国内 TEM样品杆技术有一定的技术积累。因此本文首先阐述了全球发展趋势以及在各国的分布情况，介绍了几个重要申请人的专利申请情况，其次对专利技术发展路线进行梳理总结。通过上述分析研究，以期为相关领域的专利审查提供参考。
出版日期
2020年09月01日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
