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固态源扩散———重要的半导体器件扩散工艺
固态源扩散———重要的半导体器件扩散工艺
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摘要
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DOI
7j626kpn40/4167718
作者
李如东
机构地区
(深圳方正微电子有限公司)
出处
《电力设备》
2018年2期
关键词
分类
[电气工程][电力系统及自动化]
出版日期
2018年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
电力设备
2018年2期
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