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基于LabVIEW设计的晶圆智能运输车
基于LabVIEW设计的晶圆智能运输车
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摘要
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DOI
wjv7yv5kj7/2592602
作者
徐传波
机构地区
1.上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海,200240;
出处
《科技新时代》
2018年9期
关键词
智能控制
晶圆运输
ZigBee通讯
LabVIEW
分类
[医药卫生][]
出版日期
2018年09月19日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
科技新时代
2018年9期
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