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替代ODS清洗用氟系溶剂的介绍

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摘要文章介绍了替代CFC-113和1,1,1-三氯乙烷使用的新型氟系溶剂含氢氟氯烃、全氟烃和全氟醚的主要性能特点,并根据在国外的应用实际情况着重介绍了他们的应用技术和使用中应注意的问题

DOI 16jrem0545/200963

作者津崎真彰 ;李健 ;AGC(旭硝子)集团

机构地区不详

出处《洗净技术》 2004年9期

关键词氟系溶剂含氢氟氯烃、全氟烃、全氟醚清洗

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2004年09月19日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

洗净技术

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