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上海某微电子设备公司生产厂房的空调净化工程设计

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摘要上海某微电子设备公司主要承担研制和生产高端集成电路制造设备。该公司研发和生产基地位于上海市张江高科技园区内，包括装配试验车间、精密机加工车间、维修车间、办公研发楼等。装配试验车间是其核心部分，要求净化及恒温恒湿。本文简介其净化空调的空气处理。

DOI 16jren2y45/196515

作者陈浩

机构地区不详

出处《空调暖通技术》 2004年2期

关键词厂房空调净化风机过滤单元恒温恒湿集成电路

分类 [建筑科学][供热、供燃气、通风及空调工程]

出版日期 2004年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

空调暖通技术

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