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2002年9期
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以YSZ代替SiO2可使器件更小
以YSZ代替SiO2可使器件更小
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摘要
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DOI
ldeq0le5d3/1893065
作者
杨英惠
机构地区
不详
出处
《现代材料动态》
2002年9期
关键词
YSZ
SIO2
钇稳定氧化锆
二氧化硅薄膜
电子器件
小型化
分类
[一般工业技术][材料科学与工程]
出版日期
2002年09月19日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
现代材料动态
2002年9期
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