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捕捉原子在薄膜层之间的迁移

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摘要来自瑞典林雪平大学和加利福尼亚大学伯克利分校的研究者人员使用原子分辨扫描透射电子显微镜观察到了原子沿着线性缺陷在薄膜层之间的迁移。被称为位错．管扩散的现象早己在理论上被理解，但从未被直接观察到。研究人员在将由5nm厚的氮化铪（金属）和氮化钪（半导体）交替层组成的样品加热到950℃时发现了这一现象，并见证了铪扩散到下层。该团队重复这个循环，每次测量单个原子的运动，并确认测量值与先前使用间接方法和理论模型获得的值相匹配。

DOI 6jrn5rl545/1816763

作者赵晓风

机构地区不详

出处《现代材料动态》 2018年2期

关键词原子分辨薄膜层迁移加利福尼亚大学电子显微镜观察捕捉

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2018年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）