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我国首台12英寸单晶炉研制成功
我国首台12英寸单晶炉研制成功
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摘要
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DOI
7dmn7wwy4n/1563930
作者
章从福
机构地区
不详
出处
《半导体信息》
2008年1期
关键词
单晶炉
北京有色金属
自主设计
创新性成果
硅单晶
生产设备
分类
[电子电信][物理电子学]
出版日期
2008年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
半导体信息
2008年1期
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