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《北京同步辐射装置年报》
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1997年1期
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Si晶体中δ掺杂Sb原子的分布研究
Si晶体中δ掺杂Sb原子的分布研究
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DOI
3j73wygq41/1407105
作者
贾全杰;蒋最敏;等
机构地区
不详
出处
《北京同步辐射装置年报》
1997年1期
关键词
Si晶体
Δ掺杂
SB
分布
硅
半导体
分类
[核科学技术][核技术及应用]
出版日期
1997年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
北京同步辐射装置年报
1997年1期
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