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哈尔滨实现高纯芯片“防腐剂”国产化

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摘要据报道,近日,哈尔滨金烨创业投资中心与南京特种气体有限公司签约,在哈尔滨市建立基地,生产纯度为99.9999%的电子气体,首次实现了硅烷这种能够保证电子芯片、集成电路具有高防腐性的电子气体的国产化。

DOI 9rj8xenrd0/126934

作者王兵

机构地区不详

出处《功能材料信息》 2008年Z1期

关键词防腐剂国产化高纯电子气体哈尔滨市硅烷

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2008年06月20日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）