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《光学与光电技术》
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2012年2期
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可见光区大角度减反射光学薄膜制备工艺研究
可见光区大角度减反射光学薄膜制备工艺研究
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摘要
为获得可见光波长范围的大角度减反射光学薄膜,采用电子束蒸发斜角蒸镀工艺,按照设计好的膜系,通过蒸镀一系列低折射率膜层,最终得到在380~780nm波长间,入射角0~70°,平均反射率低于1%的光学薄膜。实验结果表明利用斜角蒸镀工艺镀制出折射率从基底到空气的渐变多层膜结构以取得优良的减反射效果是可行的。
DOI
ojnqzrn1jr/1117437
作者
曹一鸣;卫红;王小辉;唐振方
机构地区
不详
出处
《光学与光电技术》
2012年2期
关键词
可见光区
大入射角度
减反射薄膜
斜角蒸镀
分类
[机械工程][光学工程]
出版日期
2012年02月12日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
光学与光电技术
2012年2期
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