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纳米复合超硬薄膜的结构、性能表征

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摘要该文分别用直流、脉冲直流和微波等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)技术得到了Ti—si—N、Ti—B—N及Ti—Al—si—N纳米复合超硬薄膜,结合微观分析和宏观性能表征,给出了它们的纳米结构特征及其与力学性能的关系,基于工业运用背景,探索了纳米复合薄膜的热稳定性。

DOI 9ojn77g4r5/10813

作者马大衍;马胜利;徐可为;S.;Veprek

机构地区不详

出处《纳米科技》 2004年1期

关键词纳米复合超硬薄膜结构性能等离子体辅助化学气相沉积

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2004年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

纳米科技

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